单模腔因为单一模式,体积受到局限,工艺中为了放大处置物料的空间,可以采用较低频率的微波源做激励源,例如采用915MHz频率的圆柱单模腔,其空间可以增大到40L,足以容下较大尺寸的反应器系统(例如图示6位平行消解罐系统)。